技術情報

200Φ無応力膜 - WLCSP Wafer - (片面)

当社の開発したWLCSP対応ウエハーは従来品に比べ、優れた耐候性と抜群の平坦度を実現しました。 お客様の要望に応じた光学薄膜をオーダーメイドでご提供いたします。

各種銀ミラー 様々な用途

一般的な4環境試験(※1)に加え、耐UV試験(10000mJ/cm2照射)、アニール試験(300℃2H)も達成! ※1 高温試験(85℃1000H)、低温試験(-40℃1000H)、恒温恒湿試験(85℃90%RH1000H)、ヒートサイクル試験(-40℃/85℃/30min30cycle)

WLCSP Wafer各種試験結果

200Φ基板(板厚0.3t)において、平坦度150μm以下を実現でき、板厚0.1tでの蒸着実績もございます。

各種銀ミラー

分光特性:面内ムラ5nm以内

外観:200Φ ウエハーにて点欠陥 20μm以下

RoHS規格を満たしております